11月25日,应机电工程学院、广西半导体芯片先进封装与系统集成重点实验室、广西制造系统与先进制造技术重点实验室邀请,北京大学材料科学与工程学院林立研究员到校作题为“晶圆级石墨烯薄膜的无损、自动化转移技术”的学术报告,全校150余名师生到场聆听。
林立描绘了晶圆级石墨烯在微电子器件领域的应用前景,解释了高质量石墨烯化学气相沉积生长和衬底转移的重要性。针对传统液相转移存在污染褶皱破损问题,他介绍了其课题组研发的零缺陷全干法转移技术,阐释了微观作用力及转移机理,进一步开发出了石墨烯晶圆批量自动化转移设备(300片/天)以及高迁移率石墨烯器件。此外,针对钙钛矿太阳能电池、有机发光二极管的器件封装需求,他介绍了石墨烯水氧阻隔膜的技术优势和已取得的研究进展。
报告会后,林立与机电工程学院教师进行座谈交流,就国家自然科学基金项目申报为教师们提供了一对一指导。

(供 稿:机电工程学院 胡晓凯 审 稿:融媒体中心 邹 辉 俸燕珍)
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