大会会场

获奖证书

7月8日，国家科学技术奖励大会、两院院士大会、中国科协第十一次全国代表大会在京召开。

我院微纳光电检测技术研究团队参与完成的“量子化光晶格常数的纳米计量关键技术及集成电路应用”项目，斩获国家科学技术进步奖一等奖！

计量是先进制造的根基，“测得出，才能造得出；测得准，才能造得精”。纳米计量更是高端集成电路纳米制造精度保障的核心支撑。长期以来，微纳光电检测技术研究团队深耕纳米级位移计量领域，持续开展基础理论攻关与工程化落地研究。团队攻克多自由度纳米激光干涉测量模型设计验证技术，搭建全行程多自由度误差标定体系，突破干涉信号非线性误差抑制等多项 “卡脖子” 关键难题，大幅提升纳米计量检测精度与运行稳定性，为集成电路产业发展提供了核心技术支撑。

此次斩获国家科技进步一等奖，是学院科研创新工作的重大突破。全院师生将以此为激励，持续深耕光电前沿领域，聚力关键核心技术攻关，不断产出高水平科研成果，助力学校新工科高质量发展！